Bộ Điều Tiết Lưu Lượng Khí (MFC)

1: Chức năng : để đo và kiểm soát lưu lượng khí hoặc dung dịch chất hóa học cần sử dụng chính xác
2: Ứng dụng : trong tất cả các lĩnh vực cần điều chỉnh và kiểm soát khí.
Ví dụ : bán dẫn, năng lượng mặt trời, xi mạ, dược phẩm,
cáp quang, màn hình tinh thể lỏng …